國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇集芯先進材料有限公司申請一項名為“一種基于等離子體輔助復合催化氧化的碳化硅粉料深度除碳方法”的專利，公開號CN121317754A，申請日期為2025年10月。 專利摘要顯示，本發(fā)明提出了一種基于等離子體輔助復合催化氧化的碳化硅粉料深度除碳方法，該碳化硅粉料深度除碳方法，其特征在于，包括如下步驟：S1：用酸對碳化硅粉料原料進行清洗處理和烘干處理，得到預處理后碳化硅粉料；S2：將所述預處理后碳化硅粉料浸入硝酸鈷、硝酸錳或硝酸鐵溶液中，進行分散處理、蒸發(fā)處理和煅燒處理，